400-677-0098
卧式化学气相沉积炉(SiC、BN)
卧式化学气相沉积炉(SiC、BN)
产品描述:
卧式化学气相沉积炉(SiC、BN)用于硅烷为气源的材料表面抗氧化涂层、基体改性等。
应用范围:
炭炭复合材料SiC涂层、石墨制品SiC涂层、纤维SiC、BN、ZrC涂层等

卧式化学气相沉积炉(SiC、BN)技术特征

采用先进的控制技术,能精密控制MTS的流量和压力,炉膛内沉积气流稳定,压力波动范围小;

采用特殊结构沉积室,密封效果好,抗污染能力强;

采用多通道沉积气路,流场均匀,无沉积死角,沉积效果好;

对沉积产生的高腐蚀性尾气、易燃易爆气体、固体粉尘及低熔点粘性产物能进行有效处理;

采用最新设计防腐蚀真空机组,持续工作时间长,维修率极低。

卧式化学气相沉积炉(SiC、BN)产品规格

参数\型号HCVD-060609-SICHCVD-101015-SICVCVD-121220-SICHCVD-151530-SICHCVD-252035-SIC
工作区尺寸W×H×L(mm) 600×600×900 1000×1000×1500 1200×1200×2000 1500×1500×30002500×2000×3500
最高温度(℃) 1500 1500 1500 15001500
温度均匀性(℃) ±7.5 ±7.5 ±10 ±10±10
极限真空度(Pa) 1-100 1-100 1-100 1-1001-100
压升率(Pa/h) 0.67 0.67 0.67 0.670.67

以上参数可根据工艺要求进行调整,不作为验收依据,具体以技术方案和协议为准。

卧式化学气相沉积炉(SiC、BN)配置选择

炉门:丝杆升降/液压升降/手动升降;旋转移开/平行移开(大尺寸炉门);手动锁紧/自动缩圈锁紧

炉壳:全碳钢/内层不锈钢/全不锈钢

炉胆:软碳毡/软石墨毡/硬质复合毡/CFC

加热器、马弗:等静压石墨/模压三高石墨/细颗粒石墨

工艺气路系统:体积/质量流量计/手动阀/自动阀/进口/国产

热电偶:K分度号/N分度号/C分度号/S分度号

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