产品性能和特点:
1、耐高温、高密度、高致密性;
2、纯度高,杂质含量<5PPM;
3、高温下对氨气、氢气具有化学惰性,热稳定性好。
产品主要用途:
■ 外延生长
■ 晶体生长
■ 高温热腐蚀导流筒
■ 耐高温和抗氧化喷嘴
高纯SiC涂层