关键词：高纯TaC涂层,TaC涂层加工

高纯TaC涂层

产品描述：: TaC涂层是新一代耐高温材料，具有比SiC更好的高温稳定性，作为耐腐蚀涂层、抗氧化涂层、耐磨涂层，可在2000℃以上环境中使用，广泛应用于航空航天超高温热端部件、第三代半导体单晶生长等领域。

产品性能和特点：

1、耐高温、高密度、高致密性；

2、纯度高，杂质含量＜5PPM；

3、高温下对氨气、氢气具有化学惰性，热稳定性好。

产品主要用途：

■ 外延生长

■ 晶体生长

■ 高温热腐蚀导流筒

■ 耐高温和抗氧化喷嘴

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